如今技術(shù)的進(jìn)步，許多生產(chǎn)步驟必須在半導(dǎo)體工業(yè)中在無塵條件下進(jìn)行，因此無塵車間的應(yīng)用變得越來越重要，無塵車間是清潔空氣達(dá)到一定水平的地方，可以滿足需要居住的人的需求，當(dāng)清潔空氣流從供應(yīng)口處的空氣供應(yīng)源送入腔室時(shí)，迅速擴(kuò)散并與周圍空氣混合，氣流從返回口處的空氣排出，即內(nèi)部空氣粉塵濃度高是干凈的。

混合稀釋空氣提供的混合氣流稀釋，而室內(nèi)污染源產(chǎn)生的污染物如今時(shí)間的推移均勻分布，以達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡排放，以滿足室內(nèi)清潔度要求，更好地混合和稀釋供氣流量的關(guān)鍵是讓室內(nèi)空氣流動(dòng)更快地?cái)U(kuò)散，無塵車間有兩種方法可以去除灰塵，層流無塵車間意味著空氣從側(cè)面以相同的速度流向另一側(cè)，因?yàn)楸没钊麑⑺�有氣體壓向另一側(cè)，嚴(yán)格控制氣流的方向，因此在腔室中產(chǎn)生的灰塵顆粒，以及細(xì)菌不會(huì)擴(kuò)散到周圍區(qū)域。

而是由風(fēng)機(jī)或空氣過濾器輸出回流過濾，從而實(shí)現(xiàn)良好的過濾效果，這種方法更適合高清潔，氣流的方向可分為水平層流和垂直層流，通過組合空調(diào)裝置的上部效應(yīng)過濾器，從無塵車間的頂部過濾空氣，并將壓力分配到每個(gè)房間，最后通過高效空氣供應(yīng)無塵車間室送出，實(shí)現(xiàn)防塵效果提供無塵車間供氣系統(tǒng)。

因此各種空氣過濾器必須嚴(yán)格控制，現(xiàn)有的脈沖除塵裝置無塵車間包括底座，其多個(gè)桿的上端支架與箱體固定連接，并且箱體由隔板和灰塵分隔，多個(gè)連接框架由框架組對(duì)稱連接，新型的緊湊結(jié)構(gòu)收集灰塵，防止灰塵在外部環(huán)境中受到影響，并收集空氣中的灰塵，因此改善了過濾效果。